Keywords: Deposition rate temperature CVD german.svg de Das Diagramm zeigt die Abscheidungsrate als Funktion der Temperatur bei der Chemischen Gasphasenabscheidung Bereich I entspricht dabei der Arrhenius-Gleichung en This chart illustrates the dependency of deposition rate by temperature in terms of chemical vapour deposition Region I corresponds to the Arrhenius equation 2012-05-06 own Freundchen The embedded texts are in german so you may have to translate it for better understanding cc-zero Uploaded with UploadWizard Chemical vapour deposition |